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含氟新质料、含氟医药、农药中心体生产销售！
产品详情
分子式:BF3
分子量：67.80
GAS号：7637-07-2
熔点：-127℃
沸点：-100℃
闪点：4℃
水溶性：溶于水
常温常压下三氯化硼11（B11Cl3）为无色发烟气体 ，，， ，，可燃 ，，， ，，有刺激性、酸性气息 ，，， ，，遇水剖析天生氯化氢和硼酸 ，，， ，，并放出大宗热量 ，，， ，，在湿空气中因水解而天生烟雾 ，，， ，，在醇中剖析为盐酸和硼酸酯。。。。。。三氯化硼11反应能力较强 ，，， ，，能形成多种配位化合物 ，，， ，，三氯化硼加热能和玻璃、陶瓷起反应 ，，， ，，也能和许多有机物反应形成种种有机硼化合物。。。。。。高纯三氯化硼11主要用于（硅）半导体器件制造工艺中的扩散掺杂 ，，， ，，在高温下 ，，， ，，经由剖析天生硼杂质向硅中扩散 ，，， ，，形成P型半导体 ，，， ，，也可用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等质料的干法蚀刻。。。。。。
| 项目Items | 单位Units | 指标Index |
| 三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥ | Vol.% | 99.9995 |
| 氧+氩Oxygen+Argon< | Vol.ppm | 1 |
| 氮Nitrogen< | Vol.ppm | 4 |
| 一氧化碳Carbon monoxide< | Vol.ppm | 0.5 |
| 二氧化碳Carbon dioxide< | Vol.ppm | 0.2 |
| 甲烷Methane < | Vol.ppm | 0.5 |
| 总杂质含量Total impurity content≤ | Vol.ppm | 5 |
| 金属离子Metal ion | Vol.ppm | 供需双方商定 |
| Supply and demand agreement |
产品用途 Application
高纯三氯化硼11主要用于半导体器件和集成电路制造中扩散掺杂、离子注入、干法蚀刻等工艺。。。。。。三氯化硼11也可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐剖析时的助熔剂 ，，， ，，在合金精制中作为除氧剂、氮化物和碳化物的添加剂。。。。。。
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始于
2015
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