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二氟化氙（XeF2） 二氟化氙（XeF2），，，，又称二氟代氙，，，，分子量为169.30，，，，是一种无色固体，，，，在室温下容易升华而形成透明晶体。。。。二氟化氙在中性或碱性溶液中剖析，，，，在酸性溶液中较为稳固，，，，水溶液有刺激气息。。。。二氟化氙蒸汽是无色的，，，，具有令人发呕的恶臭。。。。在电子工业中，，，，XeF2常被用作硅的蚀刻气体，，，，由于XeF2和硅的化学反应是自觉反应，，，，XeF2对硅的侵蚀工艺具有很是高的选择性，，，，在XeF2对硅举行侵蚀历程中，，，，XeF2气体通过自由扩散到硅衬底外貌，，，，并与最外层硅原子爆发化学反应天生气态Xe和气态SiF4，，，，从而实现对硅的侵蚀。。。。

CAS ：13709-36-9

英文又名：XeF4

产品指标

项目Items 单位Unit 指标Index

二氟化氙Xenon difluoride (XeF2) ≥ Vol.% 99.9

钾Kalium (K) ≤ mg/kg 0.18

钙Calcium (Ca)≤ mg/kg 0.15

钠Sodium (Na)≤ mg/kg 0.7

镁Magnesium (Mg)≤ mg/kg 0.12

铝Aluminum (AI) ≤ mg/kg 0.17

锌Zinc (Zn)≤ mg/kg 0.3

铁lron (Fe) ≤ mg/kg 1.21

铅Plumbum (Pb)≤ mg/kg 0.07

铜Cuprum (Cu)≤ mg/kg 0.05

铬Chromium (Cr)≤ mg/kg 0.15

锰(Mn) ≤ mg/kg 0.04

钼Manganese (Mo) ≤ mg/kg 0.15

镍Nickel (Ni)≤ mg/kg 0.83

磷Phosphorus (P)≤ mg/kg 0.14

产品用途：

在电子工业中，，，，XeF 2常被用作硅的蚀刻气体。。。。别的，，，，二氟化氙是一种选择性很好的氟化试剂，，，，在无机氟化物制备及有机合成中有普遍的应用，，，，但其只有在气相和非水溶液中才具有氟化性子，，，，在水溶液中只能起氧化剂的作用。。。。

包装、贮存：

二氟化氙是一个稳固的化合物，，，，可恒久储放于镍制容器或铝合金无缝钢瓶内，，，，包装规格有100g、500g、1kg、2kg和5kg规格，，，，以知足科研院所及生产型企业的差别要求。。。。详细包装规格可凭证用户需求定制更改。。。。二氟化氙贮存于阴凉、透风的库房，，，，应与氧化剂、食用化学品、碱金属脱离存放，，，，远离火种、热源。。。。